主要技术指标 1.高精度的三维运动控制 X,Y方向轴上最大移动范围90um,精度0.5nm; Z 方向最大移动范围15um,精度0.25nm。 2.操作模式 Contact mode(接触模式) AC mode with Q-control(可调Q的AC模式); LFM(侧向力模式);EFM(静电力显微镜) MFM(磁力显微镜);SKPM(扫描开尔文显微镜); Piezoresponse force microscopy(PFM) (压电力显微镜) MicroAngeloTM纳米刻蚀和纳米操作。 |